数值孔径？数值孔径名词解释

一、数值孔径的物理意义

光学系统的数值孔径（NA）是一个无量纲的数，用以衡量该系统能够收集的光的角度范围。

在光学的不同领域，数值孔径的精确定义略有不同。在光学领域，数值孔径描述了透镜收光锥角的大小，而后者决定了透镜收光能力和空间分辨率；在光纤领域，数值孔径则描述了光进出光纤时的锥角大小。

二、数值孔径的定义

数值孔径

数值孔径（NA）是一个无量纲的数，用以衡量该系统能够收集的光的角度范围。在不同领域，数值孔径的精确定义略有不同。在光学领域，数值孔径描述了透镜收光锥角的大小，而后者决定了透镜收光能力和空间分辨率；在光纤领域，数值孔径则描述了光进出光纤时的锥角大小。

三、在光刻工艺中，什么是数值孔径

在光刻工艺中，数值孔径（NA）是透镜与被检物体之间介质的折射率（n）和孔径角（2α）半数的正弦之乘积。用公式表示如下：NA=n*sinα。孔径角又称“镜口角”，是透镜光轴上的物体点与物镜前透镜的有效直径所形成的角度。孔径角越大，进入透镜的光通量就越大，它与透镜的有效直径成正比，与焦点的距离成反比。