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R14制冷剂
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制冷剂R14作为一款特种超低温制冷剂,主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等),R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。...

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R14制冷剂,商品名称有Freon 14等,中文名称四氟化碳、四氟甲烷,英文名称Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane,化学式CF4,商品名称Reflube 14。R-14属于FC类物质——对臭氧层没有破坏、但存在温室效应;目前对于R14制冷剂的生产、销售以及在新制冷设备上的初装、售后设备上的再添加均没有限制。

超低温R14主要用途

R-14作为一款特种超低温制冷剂,主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等),R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。四氟化碳(四氟甲烷)是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

R14制冷剂物化性质

冷媒名称 R-14
分子量 88.0
沸点(1atm),℃ -128
临界温度,℃ -45.67
临界压力,kPa 3740
饱和蒸气压(25℃),kPa 3650(-45.6℃)
汽化热/蒸发潜热(沸点下,1atm),kJ/kg135.7 135.7
破坏臭氧潜能值(ODP) 0
全球变暖潜能值(GWP,100 yr) 5700
ASHRAE安全级别 A1(无毒不可燃)

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